Le capteur silicium intégré a été développé à la fin des années 60 au centre de recherche Honeywell de Minneapolis, aux USA..

Hannes W. Keller, dipl. Phys. ETH, reconnu inventeur par Honeywell, a introduit la technologie chez Kistler en Suisse en 1971. En 1973, ces derniers ont lancé sur le marché les premiers capteurs de pression piézorésistifs équipés d'une cellule de mesure isolée. La société KELLER AG, spécialisée dans la technologie de mesure de la pression, fut fondée en 1974.