Qui nous sommes

MicroSense, LLC

MicroSense, LLC, anciennement ADE Technologies, comprend quatre activités principales: les systèmes de métrologie à géométrie de tranche, les capteurs capacitifs de précision, les magnétomètres à échantillon vibrant et les outils magnéto-optiques à effet Kerr (MOKE) pour des mesures magnétiques de pointe. MicroSense dessert une multitude d'industries, notamment la fabrication de semi-conducteurs, le stockage de données, les machines-outils, les LED solaires, automobiles et à haute luminosité. MicroSense offre une valeur et une sécurité au client, grâce à une vaste expérience commerciale, une solidité financière, une assistance mondiale et un leadership technique. MicroSense a été acquis par KLA Corporation le 22 février 2019.

Mesure de haute résolution innovante avec des capteurs capacitifs

Fondée en 1967 par Robert C. Abbe, notre entreprise de capteurs capacitifs faisait initialement partie d'ADE Corporation. ADE Corporation était réputée pour ses approches visionnaires et novatrices de la mesure sans contact haute résolution pour les applications exigeantes de mesure dimensionnelle. Au fil du temps, ADE a grandi pour devenir le premier fournisseur mondial d'outils pour la mesure de plaquettes semi-conductrices nues. Les capteurs capacitifs haute résolution pour la mesure de position et de déplacement (également appelés «cap gages») sont devenus synonymes de «ADE» et de notre nom de marque «MicroSense».

MicroSense fournit des capteurs capacitifs et des modules de métrologie OEM, basés sur la technologie de détection capacitive brevetée, pour effectuer des mesures très précises et à large bande passante de produits de précision tels que des plaquettes solaires, des plaquettes saphir, des moteurs de disques durs, des broches à coussin d'air, des étages XY de précision, des disques optiques , pièces automobiles et machines-outils. Nos capteurs de déplacement capacitifs offrent la résolution la plus élevée de l'industrie, moins de 0,05 nanomètre, une stabilité exceptionnelle et une durée de vie pratiquement illimitée.

Outils primés pour la mesure magnétique

L'activité de métrologie magnétique MicroSense a été lancée en tant que systèmes de mesure numérique (DMS) il y a plus de 25 ans et s'est poursuivie au sein d'ADE Technologies depuis 1997.

Avec notre équipe d'experts de classe mondiale dans la mesure des propriétés magnétiques, MicroSense est le principal fournisseur de magnétomètres à échantillon vibrant à haute sensibilité pour la mesure magnétique. Nos magnétomètres à échantillon vibrant sont disponibles en plusieurs modèles avec une variété de capacités, plages de champ, résolutions et options. Nos systèmes VSM sont utilisés pour la recherche magnétique fondamentale dans les laboratoires de magnétisme les plus prestigieux du monde dans les domaines académiques et commerciaux. Une gamme d'outils de métrologie magnétique de production en ligne est également proposée pour répondre aux exigences strictes de la fabrication des systèmes de stockage sur disque dur à évolution rapide d'aujourd'hui. En 2012, MicroSense a présenté le premier outil de mesure de propriétés magnétiques sans contact prêt au monde de 300 mm (illustré à droite) pour le développement et la fabrication de plaquettes MRAM.

Outils innovants pour la mesure dimensionnelle des plaquettes

MicroSense propose des outils de mesure de plaquettes haute sensibilité pour caractériser le saphir, le carbure de silicium et divers types de plaquettes semi-conductrices. MicroSense a acquis SigmaTech, Inc. de Tempe, Arizona en juin 2012. Avec cette acquisition, MicroSense a ajouté des outils d'inspection de plaquettes de pointe à son portefeuille de solutions de métrologie innovantes. Les systèmes SigmaTech intègrent plusieurs technologies de détection telles que la spectrométrie optique, l'interférométrie et la technologie brevetée de contre-pression de positionnement automatique (APBP) de SigmaTech.